Unsere Technologien stehen für hochpräzise Regelung, integrationsfreundliche Systemarchitekturen und robuste Performance – auch unter extremen Umwelt- und Belastungsprofilen.
Die Halbleiterfertigung stellt höchste Anforderungen an die Präzision – selbst Abweichungen im Mikrometerbereich können die Ausbeute beeinträchtigen. Mit immer kleineren Strukturgrößen und größeren Waferdurchmessern steigen auch die Anforderungen an die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Bewegungsregelung.
Die leistungsstarken digitalen Servoregler von Copley Controls wurden entwickelt, um diese Anforderungen zu erfüllen. Sie unterstützen Hersteller dabei, ihre Ausbeute zu steigern, Fehler zu minimieren und die gesamte Produktionseffizienz zu verbessern. Dank präziser Positionierung, Drehzahlregelung und Kraftregelung eignen sie sich für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen – vom Waferhandling bis zur Lithografie. Sie bieten die hohe Leistungsdichte, fortschrittlichen Rückführmöglichkeiten, Sicherheit und Zuverlässigkeit, die diese Prozesse erfordern.
Die Servoreglerlösungen sind auf die besonderen Anforderungen der Halbleiterfertigung ausgelegt:
Hochpräzise Regelung
Hochauflösende A/D-Wandler ermöglichen eine optimale Stromregelung und eine Positioniergenauigkeit im Mikrometerbereich. Kaskadierte Regelkreise mit hoher Bandbreite und Biquad-Filter für Kerb- oder Tiefpassfilterung gewährleisten eine leistungsfähige Servoregelung und Pulsweitenmodulation (PWM). Diese Funktionen ermöglichen die präzise Regelung, die in der Halbleiterfertigung entscheidend ist.
Kompakte Bauweise
Die platzsparenden Regler eignen sich für Anlagen mit begrenztem Bauraum. Sie können auf Montageplatten oder Leiterplatten montiert werden und lassen sich dadurch flexibel in bestehende Halbleiteranlagen integrieren.
Fortschrittliche Sicherheitsfunktionen
Die integrierte Funktion Safe Torque Off (STO) macht teure Schütze und aufwendige Verdrahtungen überflüssig. Sie erleichtert die Umsetzung von Systemen gemäß SIL 3 (IEC 61800-5-2) sowie Kategorie 3, PL d (ISO 13849-1).
Feldorientierte Regelung
Die optimale Ausrichtung des Magnetfelds ermöglicht höhere Motordrehzahlen bei geringerer Wärmeentwicklung. Dadurch wird die Effizienz im Dauerbetrieb maximiert, wie er in der Halbleiterfertigung üblich ist.
Robuste Konstruktion
EMV-Abschirmung und Schutzerdung (PE) schützen vor elektromagnetischen Störungen in empfindlichen Umgebungen. Für Anwendungen mit besonders hohen Zuverlässigkeitsanforderungen stehen zusätzlich besonders robuste Ausführungen zur Verfügung.
Netzwerkintegration
Über etablierte Industrieprotokolle wie EtherCAT und CANopen lassen sich die Regler nahtlos in bestehende Systeme integrieren. Dies ermöglicht die Echtzeitregelung und -überwachung, die moderne Industrie-4.0-Fertigungsumgebungen erfordern.
Hochauflösende Rückführung
Die Unterstützung zahlreicher Geberschnittstellen wie BiSS, SSI und EnDat ermöglicht die für Halbleiterprozesse erforderliche Präzision im Submikrometerbereich. Eine Rückführung mit zwei Encodern schließt den Regelkreis direkt an der Last und gleicht dadurch mechanisches Spiel aus – für höchste Positioniergenauigkeit.
Die Servoregler eignen sich für zahlreiche zentrale Prozesse in der Halbleiterfertigung:
Anlagen zur Waferfertigung
Antrieb und Regelung der zentralen Handhabungsrobotik sowie der Bewegungssysteme in Prozesskammern für Ätz-, Beschichtungs-, Epitaxie- und Lithografieprozesse.
Waferhandlingsysteme
Präzise Positionierung und Bewegung von Wafern während der Bearbeitung für einen kontaminationsfreien Transport mit Genauigkeit im Mikrometerbereich.
Pick-and-Place-Anlagen
Regelung von Roboterarmen für Montage- und Packaging-Prozesse.
Prüfanlagen
Präzise Bewegungsregelung in Prüfanlagen zur Überprüfung von Funktion und Leistungsfähigkeit.
Kompakte, leistungsstarke und effiziente Servoregler mit Wechselspannungsversorgung und umfassenden Anschlussmöglichkeiten.
Leistungsstarke Zweiachs-Servoregler mit vielseitigen Kommunikationsschnittstellen und umfassenden Anschlussmöglichkeiten.
Leistungsstarke Zweiachs-Servoregler mit fortschrittlicher FPGA-Technologie und flexiblen Anschlussmöglichkeiten.
Kompakte Dreiachs-Servoreglermodule mit fortschrittlicher FPGA-Technologie und Unterstützung mehrerer industrieller Netzwerke.
Ultrakompakte, leistungsstarke Servoregler mit umfassenden Anschlussmöglichkeiten und hoher Flexibilität.
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